近年来,半导体行业发生了翻天覆地的变化。芯片制程日益先进,从28nm到7nm、5nm、3nm再到2nm,不断逼近摩尔定律的极限。新能源汽车(NEV)的崛起,成为推动半导体创新的核心力量,特别是碳化硅(SiC)与氮化镓(GaN)等第三代功率半导体快速发展。同时,以ChatGPT与DeepSeek为代表的人工智能浪潮,带来了前所未有的算力与功耗挑战。先进制程、新能源与AI,共同重塑了半导体技术路线图,推动产业链上下游的深度协作与创新。

先进材料技术是半导体持续演进的基石,但也使检测与分析变得更加复杂。上游材料(硅晶 圆、光刻胶、高纯特气、溅射靶材等)的分析正从“合规检验”迈向“深度溯源”。从业者不再满足于确认材料是否达标,而是希望在出现工艺波动时,能快速、精准地定位材料端根因,以提升良率与稳定性。检测技术的灵敏度、可追溯性与智能化程度,正成为产业竞争的 新高地。

安捷伦是全球首个为半导体客户提供高端定制ICP-MS的厂商,持续引领ICP-MS产品与应用创新。通过与产业伙伴的深度合作,安捷伦构建了覆盖材料—工艺—良率的检测闭环。以ICP-MS、集成色谱、高端质谱及光学检测平台为核心,安捷伦帮助客户从合规迈向深度,实现更快、更准、更具关联性的检测能力。

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相关应用方案

自20世纪80年代后期以来,安捷伦与半导体制造商和化学品供应商密切合作,开发出有助于应对这一快速发展的行业所面临挑战的ICP-MS系统和应用。从离轴离子透镜和冷等离子体到具有MS/MS操作模式的独特的高灵敏度8900 ICP-MS/MS,安捷伦一直处于对该行业至关重要的关键ICP-MS创新的前沿。

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